扫描镀膜装置及扫描镀膜组件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110190163.7
申请日
2011-06-30
公开(公告)号
CN102312212A
公开(公告)日
2012-01-11
发明(设计)人
赵军 梅芳
申请人
申请人地址
311215 浙江省杭州市萧山区建设一路66号1201室
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
C23C1654
代理机构
湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232
代理人
赵卫康
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种扫描镀膜装置及扫描镀膜组件 [P]. 
赵军 ;
梅芳 .
中国专利 :CN102312199A ,2012-01-11
[2]
镀膜组件及镀膜装置 [P]. 
吴婷婷 ;
冯俊敏 ;
张万财 .
中国专利 :CN212404258U ,2021-01-26
[3]
镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法 [P]. 
吴婷婷 ;
冯俊敏 ;
张万财 .
中国专利 :CN113981376A ,2022-01-28
[4]
镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法 [P]. 
吴婷婷 ;
冯俊敏 ;
张万财 .
中国专利 :CN113981376B ,2024-11-15
[5]
镀膜装置及镀膜方法 [P]. 
刘亮 ;
杨彦伟 ;
邹颜 .
中国专利 :CN112779522A ,2021-05-11
[6]
镀膜装置及镀膜设备 [P]. 
柯荣峰 .
中国专利 :CN208632628U ,2019-03-22
[7]
夹具组件、镀膜组件及镀膜方法 [P]. 
宗坚 ;
孙富恩 .
中国专利 :CN119287331A ,2025-01-10
[8]
采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法 [P]. 
林为平 ;
范滨 ;
张洪 .
中国专利 :CN105695938B ,2016-06-22
[9]
环状镀膜承载组件及环状镀膜装置 [P]. 
侯立信 ;
王青波 ;
李杰 .
中国专利 :CN113000323A ,2021-06-22
[10]
用于镀膜设备的镀膜组件 [P]. 
宗坚 .
中国专利 :CN212983045U ,2021-04-16