一种硅片上下料系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120382806.7

申请日：

2021-02-20

公开(公告)号：

CN214542175U

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

沈晓琪林佳继朱斌强嘉杰

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677 H01L21683

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283

代理人：

董世博

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片上下料系统 [P].

林佳继 ;

周欢 ;

时祥 .

中国专利 :CN216671585U ,2022-06-03

[2]

一种硅片上下料系统 [P].

林佳继 ;

周欢 ;

时祥 .

中国专利 :CN114242633B ,2025-09-05

[3]

一种硅片上下料系统 [P].

林佳继 ;

周欢 ;

时祥 .

中国专利 :CN114242633A ,2022-03-25

[4]

一种硅片上下料传输系统 [P].

董平博 ;

连建军 ;

李新丰 ;

王彦齐 .

中国专利 :CN211743111U ,2020-10-23

[5]

一种磨床自动上下料系统 [P].

赖甘桔 .

中国专利 :CN214080707U ,2021-08-31

[6]

一种硅片自动上下料系统 [P].

李广炜 ;

岳园 ;

杨恒壮 ;

杭天奇 ;

黄迪 ;

韩少伟 .

中国专利 :CN221668794U ,2024-09-06

[7]

上下料系统 [P].

郭小刚 ;

魏振南 ;

闫克英 .

中国专利 :CN216657251U ,2022-06-03

[8]

一种硅片上下料装置 [P].

郑良才 .

中国专利 :CN205050814U ,2016-02-24

[9]

一种硅片上下料装置 [P].

袁卫华 ;

胡凡 ;

易文杰 ;

钟新华 .

中国专利 :CN203682602U ,2014-07-02

[10]

硅片上下料机 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213201489U ,2021-05-14

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