一种硅片上下料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520524820.0

申请日：

2015-07-20

公开(公告)号：

CN205050814U

公开(公告)日：

2016-02-24

发明(设计)人：

郑良才

申请人：

申请人地址：

315033 浙江省宁波市江北区洪塘镇长阳路191号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21673 H01L3118

代理机构：

宁波天一专利代理有限公司 33207

代理人：

徐良江

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-24	授权	授权
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20150720 授权公告日:20160224 终止日期:20200720

共 50 条

[1]

ALD硅片上下料装置 [P].

熊波 .

中国专利 :CN212128295U ,2020-12-11

[2]

一种硅片上下料装置 [P].

袁卫华 ;

胡凡 ;

易文杰 ;

钟新华 .

中国专利 :CN203682602U ,2014-07-02

[3]

ALD硅片上下料装置 [P].

熊波 .

中国专利 :CN111206237A ,2020-05-29

[4]

上下料装置及硅片传送线 [P].

陆瑜 ;

汤帅 .

中国专利 :CN221747188U ,2024-09-20

[5]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN203055881U ,2013-07-10

[6]

自动上下料装置及上下料系统 [P].

饶桥兵 ;

邱会生 ;

徐胜强 .

中国专利 :CN207566455U ,2018-07-03

[7]

一种硅片限位挂架及硅片上下料装置 [P].

王万生 .

中国专利 :CN117902318B ,2024-05-24

[8]

一种硅片上下料系统 [P].

沈晓琪 ;

林佳继 ;

朱斌 ;

强嘉杰 .

中国专利 :CN214542175U ,2021-10-29

[9]

一种硅片上下料系统 [P].

林佳继 ;

周欢 ;

时祥 .

中国专利 :CN216671585U ,2022-06-03

[10]

一种硅片限位挂架及硅片上下料装置 [P].

王万生 .

中国专利 :CN117902318A ,2024-04-19

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