ALD硅片上下料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020187092.X

申请日：

2020-02-19

公开(公告)号：

CN212128295U

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

熊波

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市无锡新区硕放工业集中区五期C20-2号地块

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260

代理人：

朱晓林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	授权	授权
2022-03-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:无锡市江松科技有限公司变更后:无锡江松科技股份有限公司变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市无锡新区硕放工业集中区五期C20-2号地块变更后:214000 江苏省无锡市新吴区硕放长江东路208号

共 50 条

[1]

ALD硅片上下料装置 [P].

熊波 .

中国专利 :CN111206237A ,2020-05-29

[2]

上下料装置及硅片传送线 [P].

陆瑜 ;

汤帅 .

中国专利 :CN221747188U ,2024-09-20

[3]

一种硅片上下料装置 [P].

郑良才 .

中国专利 :CN205050814U ,2016-02-24

[4]

电池硅片的上下料机构 [P].

温洪坚 ;

张汉杰 ;

周鑫 ;

曾昌 .

中国专利 :CN221987564U ,2024-11-12

[5]

一种硅片上下料装置 [P].

袁卫华 ;

胡凡 ;

易文杰 ;

钟新华 .

中国专利 :CN203682602U ,2014-07-02

[6]

硅片上下料机 [P].

闫善韵 .

中国专利 :CN213201489U ,2021-05-14

[7]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN203055881U ,2013-07-10

[8]

上下料装置 [P].

黄伟 ;

陈鹏 ;

苏伟 ;

张玮峻 ;

王洪兵 .

中国专利 :CN221318289U ,2024-07-12

[9]

自动上下料装置及上下料系统 [P].

饶桥兵 ;

邱会生 ;

徐胜强 .

中国专利 :CN207566455U ,2018-07-03

[10]

硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备 [P].

李峰 ;

梁蔚 ;

王习文 ;

周晓军 ;

陈海国 .

中国专利 :CN207752988U ,2018-08-21

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