硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721162110.3

申请日：

2017-09-11

公开(公告)号：

CN207752988U

公开(公告)日：

2018-08-21

发明(设计)人：

李峰梁蔚王习文周晓军陈海国

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道麻雀岭工业区10栋3号楼4楼C区

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-21	授权	授权
2021-08-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20210813 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市旭控科技有限公司变更后权利人:深圳嘉强激光技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区粤海街道麻雀岭工业区10栋3号楼4楼C区变更后权利人:518125 广东省深圳市宝安区新桥街道象山社区新玉路84号B栋2层

共 50 条

[1]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN203055881U ,2013-07-10

[2]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN103035555A ,2013-04-10

[3]

硅片花篮转运装置及硅片自动输送制造设备 [P].

李峰 ;

梁蔚 ;

王习文 ;

周晓军 .

中国专利 :CN207367945U ,2018-05-15

[4]

全自动上下料设备及全自动上下料装置 [P].

刘传银 ;

孟健 ;

曹俊 ;

殷伯健 ;

谢超 .

中国专利 :CN209439845U ,2019-09-27

[5]

硅片自动上下料装置及太阳电池生产设备 [P].

盛叶明 ;

汪晓良 .

中国专利 :CN223108864U ,2025-07-15

[6]

硅片晶棒滚磨机自动上下料装置 [P].

钟秋振 ;

王致壬 ;

许家玮 .

中国专利 :CN221159629U ,2024-06-18

[7]

硅片自动上下料机的自动定位装置 [P].

杨延德 ;

胡军 .

中国专利 :CN202473881U ,2012-10-03

[8]

全自动上下料设备及全自动上下料装置 [P].

刘传银 ;

孟健 ;

曹俊 ;

殷伯健 ;

谢超 .

中国专利 :CN109483310A ,2019-03-19

[9]

硅片自动上下料机的抓手装置 [P].

季九江 ;

蔡希松 ;

张慧琴 ;

胡琴 ;

黎慧华 .

中国专利 :CN202564197U ,2012-11-28

[10]

自动上下料装置 [P].

金春来 .

中国专利 :CN220578353U ,2024-03-12

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