用于PECVD设备的硅片自动上下料装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210579113.2

申请日：

2012-12-27

公开(公告)号：

CN103035555A

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

王燕清周昕

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新区国家技术开发区新锡路20号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所 32104

代理人：

殷红梅

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-10	公开	公开
2013-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101452518194 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2012105791132 申请日:20121227
2016-02-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更变更前:214028 江苏省无锡市新区国家技术开发区新锡路20号变更后:214028 江苏省无锡国家高新技术产业开发区新锡路20号号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727939326 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2012105791132 变更事项:专利权人变更前:无锡先导自动化设备股份有限公司变更后:无锡先导智能装备股份有限公司变更事项:地址
2015-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN203055881U ,2013-07-10

[2]

一种用于PECVD设备的自动上下料装置 [P].

王俊朝 ;

王滋润 ;

蔡朋涛 ;

李军阳 .

中国专利 :CN102709212A ,2012-10-03

[3]

用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统 [P].

陈平 ;

胡文全 ;

刘晓平 ;

陈世强 ;

陶凌 .

中国专利 :CN102437251A ,2012-05-02

[4]

防掉片PECVD设备的自动上下料装置 [P].

黄之屹 ;

孙铁囤 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206931580U ,2018-01-26

[5]

板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构 [P].

陈平 ;

陈世强 .

中国专利 :CN102530546A ,2012-07-04

[6]

一种用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统 [P].

陈平 ;

胡文全 ;

刘晓平 ;

陈世强 ;

陶凌 .

中国专利 :CN202474006U ,2012-10-03

[7]

硅片自动上下料装置及硅片自动输送制造设备 [P].

李峰 ;

梁蔚 ;

王习文 ;

周晓军 ;

陈海国 .

中国专利 :CN207752988U ,2018-08-21

[8]

一种用于PECVD镀膜设备的自动上下料装置 [P].

金佐良 ;

乔勇 ;

谢贤清 .

中国专利 :CN204391073U ,2015-06-10

[9]

用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法 [P].

张宇 ;

朱辉 ;

瞿鸿海 ;

谢振勇 .

中国专利 :CN106282971B ,2017-01-04

[10]

自动上下料装置 [P].

范智萌 ;

杨卫兵 .

中国专利 :CN113580281A ,2021-11-02

← 1 2 3 4 5 →