一种用于PECVD设备的自动上下料装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210073162.9

申请日：

2012-03-20

公开(公告)号：

CN102709212A

公开(公告)日：

2012-10-03

发明(设计)人：

王俊朝王滋润蔡朋涛李军阳

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B25J1300

代理机构：

广东国晖律师事务所 44266

代理人：

陈琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-07	授权	授权
2014-01-15	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685696997 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012100731629 变更事项:申请人变更前:深圳市大族光伏科技股份有限公司变更后:深圳丰盛装备股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号变更后:518000 广东省深圳市南山区高新区北区北环大道9018号大族创新大厦B区1-2层
2012-10-03	公开	公开
2021-05-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20210507 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳丰盛装备股份有限公司变更后权利人:深圳市大族光伏装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区高新区北区北环大道9018号大族创新大厦B区1-2层变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101
2012-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353333174 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012100731629 申请日:20120320

共 50 条

[1]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN203055881U ,2013-07-10

[2]

用于PECVD设备的硅片自动上下料装置 [P].

王燕清 ;

周昕 .

中国专利 :CN103035555A ,2013-04-10

[3]

一种用于PECVD镀膜设备的自动上下料装置 [P].

金佐良 ;

乔勇 ;

谢贤清 .

中国专利 :CN204391073U ,2015-06-10

[4]

防掉片PECVD设备的自动上下料装置 [P].

黄之屹 ;

孙铁囤 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206931580U ,2018-01-26

[5]

一种用于丝印设备的自动上下料装置 [P].

许亮 ;

朱永波 .

中国专利 :CN205202434U ,2016-05-04

[6]

一种用于丝印设备的自动上下料装置 [P].

许亮 ;

朱永波 .

中国专利 :CN105500901A ,2016-04-20

[7]

用于多管PECVD设备的自动上下料系统及其方法 [P].

张宇 ;

朱辉 ;

瞿鸿海 ;

谢振勇 .

中国专利 :CN106282971B ,2017-01-04

[8]

一种管式PECVD自动上下料装置 [P].

王俊朝 ;

常红旺 ;

李学文 ;

李军阳 .

中国专利 :CN207904364U ,2018-09-25

[9]

用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统 [P].

陈平 ;

胡文全 ;

刘晓平 ;

陈世强 ;

陶凌 .

中国专利 :CN102437251A ,2012-05-02

[10]

一种用于机床的自动上下料装置 [P].

吕元永 ;

高家军 .

中国专利 :CN103707110A ,2014-04-09

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