IPC分类号:
C23C1434
H01J3736
法律状态
| 1996-10-09 |
公开
| 公开 |
| 2008-02-13 |
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
| 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 1996-09-11 |
实质审查请求的生效
| 实质审查请求的生效 |
| 2000-10-11 |
授权
| 授权 |
共 50 条
[2]
等离子体加工装置
[P].
中国专利 :CN102110571A ,2011-06-29 [3]
等离子体加工装置
[P].
中国专利 :CN100491586C ,2006-02-22 [4]
等离子体加工装置
[P].
中国专利 :CN101289285A ,2008-10-22 [5]
等离子体加工装置
[P].
中国专利 :CN103229272B ,2013-07-31 [8]
大气等离子体加工装置
[P].
中国专利 :CN103237402B ,2013-08-07 [9]
等离子体加工方法
[P].
中国专利 :CN1790613A ,2006-06-21