等离子体加工方法和等离子体加工装置

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专利类型
发明
申请号
CN95120912.4
申请日
1995-12-15
公开(公告)号
CN1132800A
公开(公告)日
1996-10-09
发明(设计)人
植田重教 桥爪淳一郎 土田伸史
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C23C1650
IPC分类号
C23C1434 H01J3736
代理机构
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人
陈永红
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
等离子体加工装置和等离子体加工方法 [P]. 
福冈裕介 ;
岸本克史 .
中国专利 :CN101336467A ,2008-12-31
[2]
等离子体加工装置 [P]. 
张风港 .
中国专利 :CN102110571A ,2011-06-29
[3]
等离子体加工装置 [P]. 
李荣钟 ;
崔浚泳 ;
黄荣周 ;
曺生贤 .
中国专利 :CN100491586C ,2006-02-22
[4]
等离子体加工装置 [P]. 
刘为国 ;
梁海锋 ;
杭凌侠 .
中国专利 :CN101289285A ,2008-10-22
[5]
等离子体加工装置 [P]. 
J·迈 ;
P·沃尔夫 ;
H·施勒姆 .
中国专利 :CN103229272B ,2013-07-31
[6]
PCB等离子体加工装置 [P]. 
全峰 ;
邬钦崇 ;
邬明旭 ;
朱振龙 .
中国专利 :CN206923156U ,2018-01-23
[7]
PCB等离子体加工装置 [P]. 
全峰 ;
邬钦崇 ;
邬明旭 ;
朱振龙 .
中国专利 :CN107148148A ,2017-09-08
[8]
大气等离子体加工装置 [P]. 
王波 ;
张鹏 ;
辛强 ;
姚英学 ;
金会良 ;
丁飞 ;
李娜 ;
金江 ;
李铎 .
中国专利 :CN103237402B ,2013-08-07
[9]
等离子体加工方法 [P]. 
本田昌伸 .
中国专利 :CN1790613A ,2006-06-21
[10]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
岩田学 ;
中山博之 ;
增泽健二 ;
本田昌伸 .
中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26