等离子体加工装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510092801.6

申请日：

2005-08-18

公开(公告)号：

CN100491586C

公开(公告)日：

2006-02-22

发明(设计)人：

李荣钟崔浚泳黄荣周曺生贤

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23F108 H01L2100

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

余刚;李丙林

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-02-22	公开	公开
2009-05-27	授权	授权
2016-10-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101681977061 IPC(主分类):C23C 14/32 专利号:ZL2005100928016 申请日:20050818 授权公告日:20090527 终止日期:20150818

共 50 条

[1]

等离子体加工装置和等离子体加工方法 [P].

福冈裕介 ;

岸本克史 .

中国专利 :CN101336467A ,2008-12-31

[2]

等离子体加工方法和等离子体加工装置 [P].

植田重教 ;

桥爪淳一郎 ;

土田伸史 .

中国专利 :CN1132800A ,1996-10-09

[3]

等离子体加工装置 [P].

张风港 .

中国专利 :CN102110571A ,2011-06-29

[4]

等离子体加工装置 [P].

刘为国 ;

梁海锋 ;

杭凌侠 .

中国专利 :CN101289285A ,2008-10-22

[5]

等离子体加工装置 [P].

J·迈 ;

P·沃尔夫 ;

H·施勒姆 .

中国专利 :CN103229272B ,2013-07-31

[6]

PCB等离子体加工装置 [P].

全峰 ;

邬钦崇 ;

邬明旭 ;

朱振龙 .

中国专利 :CN206923156U ,2018-01-23

[7]

PCB等离子体加工装置 [P].

全峰 ;

邬钦崇 ;

邬明旭 ;

朱振龙 .

中国专利 :CN107148148A ,2017-09-08

[8]

大气等离子体加工装置 [P].

王波 ;

张鹏 ;

辛强 ;

姚英学 ;

金会良 ;

丁飞 ;

李娜 ;

金江 ;

李铎 .

中国专利 :CN103237402B ,2013-08-07

[9]

等离子体刻蚀加工装置 [P].

王文彦 .

中国专利 :CN216487953U ,2022-05-10

[10]

等离子体加工装置和处理装置 [P].

大见忠弘 ;

山本直子 ;

山本达志 ;

平山昌树 .

中国专利 :CN1613279A ,2005-05-04

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