测量方法、测量装置和测量程序

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201380011853.9
申请日
2013-02-22
公开(公告)号
CN104160287A
公开(公告)日
2014-11-19
发明(设计)人
志村重辅 诸冈正浩
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
G01R3126
IPC分类号
H02S5010 H01L3104 H01M1048 H01M1400
代理机构
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人
陈桂香;曹正建
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[21]
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[25]
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[28]
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[29]
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[30]
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