在多列扫描电子显微镜系统中用于校正阵列散光的设备及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201780054685.X
申请日
2017-09-06
公开(公告)号
CN109690726A
公开(公告)日
2019-04-26
发明(设计)人
A·布罗迪
申请人
申请人地址
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
H01J3728
IPC分类号
H01J3722
代理机构
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
刘丽楠
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
扫描电子显微镜的扫描方法及扫描电子显微镜 [P]. 
陈航卫 .
中国专利 :CN117990019A ,2024-05-07
[2]
扫描电子显微镜及扫描透过电子显微镜 [P]. 
稻田博实 ;
中村邦康 .
中国专利 :CN103703537B ,2014-04-02
[3]
低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法 [P]. 
李帅 ;
何伟 .
中国专利 :CN109300759B ,2019-02-01
[4]
用于扫描电子显微镜的法拉第杯及扫描电子显微镜系统 [P]. 
李山磊 ;
杨思源 ;
王志斌 .
中国专利 :CN223066113U ,2025-07-04
[5]
多束扫描电子显微镜系统中噪声减少的方法及系统 [P]. 
M·A·麦科德 ;
R·克尼彭迈耶 ;
D·马斯纳盖蒂 ;
R·R·西蒙斯 .
中国专利 :CN108027501B ,2018-05-11
[6]
多柱扫描式电子显微镜系统 [P]. 
R·海恩斯 ;
A·韦尔克 ;
M·纳赛尔-古德西 ;
J·格尔林 ;
T·普勒特纳 .
中国专利 :CN114678245A ,2022-06-28
[7]
多柱扫描式电子显微镜系统 [P]. 
R·海恩斯 ;
A·韦尔克 ;
M·纳赛尔-古德西 ;
J·格尔林 ;
T·普勒特纳 .
中国专利 :CN110383416B ,2019-10-25
[8]
电子显微镜、用于电子显微镜的电子源、和操作电子显微镜的方法 [P]. 
P·阿达麦茨 .
德国专利 :CN118414683A ,2024-07-30
[9]
扫描电子显微镜专用钢丝夹具及扫描电子显微镜装置 [P]. 
张杰 ;
吴继权 ;
邱康勇 .
中国专利 :CN210956590U ,2020-07-07
[10]
扫描电子显微镜及用于重叠监控的方法 [P]. 
I·阿苏林 ;
E·怀兹 ;
E·Y·威内格拉德 ;
M·拉皮德 ;
B·罗森斯瓦格 .
中国专利 :CN113614875A ,2021-11-05