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在多列扫描电子显微镜系统中用于校正阵列散光的设备及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201780054685.X
申请日
:
2017-09-06
公开(公告)号
:
CN109690726A
公开(公告)日
:
2019-04-26
发明(设计)人
:
A·布罗迪
申请人
:
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
H01J3728
IPC分类号
:
H01J3722
代理机构
:
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
:
刘丽楠
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-09-20
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20170906
2019-04-26
公开
公开
2021-05-07
授权
授权
共 50 条
[1]
扫描电子显微镜的扫描方法及扫描电子显微镜
[P].
陈航卫
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0
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机构:
长鑫存储技术有限公司
长鑫存储技术有限公司
陈航卫
.
中国专利
:CN117990019A
,2024-05-07
[2]
扫描电子显微镜及扫描透过电子显微镜
[P].
稻田博实
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稻田博实
;
中村邦康
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中村邦康
.
中国专利
:CN103703537B
,2014-04-02
[3]
低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法
[P].
李帅
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李帅
;
何伟
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何伟
.
中国专利
:CN109300759B
,2019-02-01
[4]
用于扫描电子显微镜的法拉第杯及扫描电子显微镜系统
[P].
李山磊
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机构:
惠然科技有限公司
惠然科技有限公司
李山磊
;
杨思源
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机构:
惠然科技有限公司
惠然科技有限公司
杨思源
;
王志斌
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机构:
惠然科技有限公司
惠然科技有限公司
王志斌
.
中国专利
:CN223066113U
,2025-07-04
[5]
多束扫描电子显微镜系统中噪声减少的方法及系统
[P].
M·A·麦科德
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M·A·麦科德
;
R·克尼彭迈耶
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R·克尼彭迈耶
;
D·马斯纳盖蒂
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D·马斯纳盖蒂
;
R·R·西蒙斯
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R·R·西蒙斯
.
中国专利
:CN108027501B
,2018-05-11
[6]
多柱扫描式电子显微镜系统
[P].
R·海恩斯
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R·海恩斯
;
A·韦尔克
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A·韦尔克
;
M·纳赛尔-古德西
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M·纳赛尔-古德西
;
J·格尔林
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J·格尔林
;
T·普勒特纳
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T·普勒特纳
.
中国专利
:CN114678245A
,2022-06-28
[7]
多柱扫描式电子显微镜系统
[P].
R·海恩斯
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R·海恩斯
;
A·韦尔克
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A·韦尔克
;
M·纳赛尔-古德西
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M·纳赛尔-古德西
;
J·格尔林
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J·格尔林
;
T·普勒特纳
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T·普勒特纳
.
中国专利
:CN110383416B
,2019-10-25
[8]
电子显微镜、用于电子显微镜的电子源、和操作电子显微镜的方法
[P].
P·阿达麦茨
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机构:
ICT半导体集成电路测试有限公司
ICT半导体集成电路测试有限公司
P·阿达麦茨
.
德国专利
:CN118414683A
,2024-07-30
[9]
扫描电子显微镜专用钢丝夹具及扫描电子显微镜装置
[P].
张杰
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张杰
;
吴继权
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吴继权
;
邱康勇
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邱康勇
.
中国专利
:CN210956590U
,2020-07-07
[10]
扫描电子显微镜及用于重叠监控的方法
[P].
I·阿苏林
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I·阿苏林
;
E·怀兹
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E·怀兹
;
E·Y·威内格拉德
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E·Y·威内格拉德
;
M·拉皮德
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M·拉皮德
;
B·罗森斯瓦格
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B·罗森斯瓦格
.
中国专利
:CN113614875A
,2021-11-05
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