一种光伏硅片表面蚀刻设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121971718.7

申请日：

2021-08-21

公开(公告)号：

CN215680709U

公开(公告)日：

2022-01-28

发明(设计)人：

付嘉伟

申请人：

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢2008室

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167 H01L21683

代理机构：

合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126

代理人：

刘冉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光伏硅片表面蚀刻设备 [P].

沈茂田 ;

刘伟 ;

杨杰 .

中国专利 :CN223728732U ,2025-12-26

[2]

一种光伏硅片清洗设备 [P].

郝浩 .

中国专利 :CN215142846U ,2021-12-14

[3]

一种旋转式光伏硅片用冲洗设备 [P].

王森光 .

中国专利 :CN221783168U ,2024-09-27

[4]

一种光伏硅片浸泡设备 [P].

冯胜铨 ;

冯亚平 ;

张芳伟 ;

周海刚 ;

毛慰慈 ;

徐涵波 .

中国专利 :CN222442186U ,2025-02-07

[5]

一种半导体硅片表面蚀刻装置 [P].

徐晶骥 ;

董国斌 ;

叶俊 .

中国专利 :CN215183877U ,2021-12-14

[6]

一种旋转式光伏硅片用冲洗设备 [P].

徐海涛 .

中国专利 :CN108480278B ,2018-09-04

[7]

一种光伏硅片加工设备 [P].

宋宇龙 .

中国专利 :CN217021034U ,2022-07-22

[8]

一种光伏硅片清洗设备 [P].

吴佳豪 ;

涂洁磊 ;

李雷 ;

肖祥江 ;

胡凯 ;

余首柘 ;

谢玉岑 ;

吴昊 ;

杨艳云 .

中国专利 :CN216606344U ,2022-05-27

[9]

一种光伏硅片检测与光伏硅片分选一体设备 [P].

王诚林 ;

陈艺 ;

陈浩 .

中国专利 :CN221651450U ,2024-09-03

[10]

一种光伏硅片表面缺陷检测机 [P].

陈君钤 ;

王玮 .

中国专利 :CN221380893U ,2024-07-19

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