一种晶圆搬运装置

被引：0

申请号：

CN202221412887.1

申请日：

2022-06-07

公开(公告)号：

CN217822700U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

徐枭宇郑东州

申请人：

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21687 H01L2167

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

邵志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆夹持搬运装置 [P].

刘乾峰 ;

周鹏程 .

中国专利 :CN223206260U ,2025-08-08

[2]

一种晶圆搬运装置 [P].

苗涛 ;

吴天尧 ;

师海月 ;

高嘉伟 ;

陈志 .

中国专利 :CN222380563U ,2025-01-21

[3]

一种晶圆搬运装置 [P].

邹宇斯 ;

王金池 ;

下野智成 .

中国专利 :CN218385147U ,2023-01-24

[4]

晶圆搬运装置 [P].

刘季 ;

苏亚青 ;

吕剑 ;

余波 .

中国专利 :CN112635376B ,2021-04-09

[5]

一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统 [P].

谢光训 .

中国专利 :CN221613853U ,2024-08-27

[6]

一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 [P].

曾凡贵 .

中国专利 :CN217359573U ,2022-09-02

[7]

一种晶圆夹持搬运装置 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 ;

祝龙飞 ;

李江 .

中国专利 :CN119480777B ,2025-05-02

[8]

一种晶圆双臂搬运装置 [P].

沈佳宁 ;

曹聪 ;

钱善华 ;

慕达 ;

李欣菲 ;

陈雨馨 .

中国专利 :CN222507585U ,2025-02-18

[9]

一种晶圆自动搬运装置 [P].

张海洋 ;

刘伟 ;

吕文波 ;

徐欣琦 .

中国专利 :CN221304625U ,2024-07-09

[10]

一种晶圆旋转搬运装置 [P].

周炳 .

中国专利 :CN222214143U ,2024-12-20

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