一种晶圆搬运装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421089324.2

申请日：

2024-05-17

公开(公告)号：

CN222380563U

公开(公告)日：

2025-01-21

发明(设计)人：

苗涛吴天尧师海月高嘉伟陈志

申请人：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请人地址：

110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆搬运机械手 [P].

张松林 .

中国专利 :CN220783915U ,2024-04-16

[2]

一种晶圆搬运装置 [P].

袁慧珠 ;

张明明 .

中国专利 :CN117096088B ,2024-02-02

[3]

一种晶圆搬运装置 [P].

郭卫 ;

曹恩林 ;

林海雄 .

中国专利 :CN120690727A ,2025-09-23

[4]

一种晶圆搬运装置 [P].

蒋东峰 .

中国专利 :CN119446991A ,2025-02-14

[5]

一种晶圆搬运装置 [P].

蒋东峰 .

中国专利 :CN119446991B ,2025-07-18

[6]

一种晶圆搬运装置 [P].

徐枭宇 ;

郑东州 .

中国专利 :CN217822700U ,2022-11-15

[7]

一种晶圆搬运装置 [P].

邹宇斯 ;

王金池 ;

下野智成 .

中国专利 :CN218385147U ,2023-01-24

[8]

晶圆搬运装置 [P].

刘季 ;

苏亚青 ;

吕剑 ;

余波 .

中国专利 :CN112635376B ,2021-04-09

[9]

晶圆搬运装置 [P].

周修斌 ;

安礼余 .

中国专利 :CN309450093S ,2025-08-19

[10]

晶圆料盒搬运装置 [P].

袁林航 ;

郑忠斌 ;

李韩军 ;

冯源 ;

方剑锋 .

中国专利 :CN220934038U ,2024-05-10

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