共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-12-10 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/31 申请日:20021030 授权公告日:20081210 终止日期:20201030 |
| 2006-01-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2005-11-16 | 公开 | 公开 |