一种双路单频激光干涉仪

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110006415.6
申请日
2011-01-13
公开(公告)号
CN102175141A
公开(公告)日
2011-09-07
发明(设计)人
孙利群 吴冠豪 谌雅琴
申请人
申请人地址
100084 北京市海淀区清华园1号清华大学科技处
IPC主分类号
G01B902
IPC分类号
代理机构
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人
徐宁;关畅
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置 [P]. 
王超群 ;
黄强先 ;
伍婷婷 ;
张连生 .
中国专利 :CN106225667B ,2016-12-14
[2]
共路激光干涉仪 [P]. 
曲兴华 ;
王丽华 .
中国专利 :CN101629804B ,2010-01-20
[3]
双频激光干涉仪 [P]. 
程于水 ;
毛静超 ;
吴树福 .
中国专利 :CN215296151U ,2021-12-24
[4]
一种双频激光干涉仪 [P]. 
张志平 ;
肖鹏飞 ;
张晓文 ;
池峰 ;
陈勇辉 .
中国专利 :CN101566459A ,2009-10-28
[5]
一种激光干涉仪的光路调校装置 [P]. 
张斌 .
中国专利 :CN206056497U ,2017-03-29
[6]
一种双频激光干涉仪装置 [P]. 
肖鹏飞 ;
张志平 ;
张晓文 ;
任胜伟 ;
池峰 ;
陈勇辉 .
中国专利 :CN101598530A ,2009-12-09
[7]
激光干涉仪系统 [P]. 
卢海燕 ;
占伟伟 ;
胡鹏程 ;
蔡莉 ;
王秀 .
中国专利 :CN205537501U ,2016-08-31
[8]
激光干涉仪系统 [P]. 
卢海燕 .
中国专利 :CN104316078B ,2015-01-28
[9]
一种用于单频激光干涉仪位移计算的方法 [P]. 
吴光 ;
庞程凯 ;
张虹桥 ;
陆思诺 .
中国专利 :CN115523842A ,2022-12-27
[10]
一种用于单频激光干涉仪位移计算的方法 [P]. 
吴光 ;
庞程凯 ;
张虹桥 ;
陆思诺 .
中国专利 :CN115523842B ,2025-07-22