一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610640509.1

申请日：

2016-08-05

公开(公告)号：

CN106225667B

公开(公告)日：

2016-12-14

发明(设计)人：

王超群黄强先伍婷婷张连生

申请人：

申请人地址：

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101

代理人：

何梅生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101696040003 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2016106405091 申请日:20160805
2018-10-02	授权	授权
2016-12-14	公开	公开

共 50 条

[1]

单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

付海金 ;

王珂 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN109539975A ,2019-03-29

[2]

单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置 [P].

付海金 ;

王珂 ;

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN109974576A ,2019-07-05

[3]

干涉量分离单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置 [P].

谭久彬 ;

朱静浩 ;

胡鹏程 .

中国专利 :CN104748672B ,2015-07-01

[4]

角位移单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置 [P].

胡鹏程 ;

朱静浩 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN104748671A ,2015-07-01

[5]

一种双路单频激光干涉仪 [P].

孙利群 ;

吴冠豪 ;

谌雅琴 .

中国专利 :CN102175141A ,2011-09-07

[6]

激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪 [P].

高思田 ;

施玉书 ;

卢明臻 ;

杜华 .

中国专利 :CN101839686B ,2010-09-22

[7]

激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

杨宏兴 ;

刁晓飞 .

中国专利 :CN101493311A ,2009-07-29

[8]

一种双频激光干涉仪装置 [P].

肖鹏飞 ;

张志平 ;

张晓文 ;

任胜伟 ;

池峰 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN101598530A ,2009-12-09

[9]

一种双频激光干涉仪 [P].

张志平 ;

肖鹏飞 ;

张晓文 ;

池峰 ;

陈勇辉 .

中国专利 :CN101566459A ,2009-10-28

[10]

一种光栅干涉仪中非线性误差的补偿方法 [P].

熊显名 ;

郭昕 ;

张文涛 ;

曾启林 ;

杜浩 ;

赵正义 .

中国专利 :CN115098059A ,2022-09-23

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