激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910071289.5

申请日：

2009-01-16

公开(公告)号：

CN101493311A

公开(公告)日：

2009-07-29

发明(设计)人：

谭久彬胡鹏程杨宏兴刁晓飞

申请人：

申请人地址：

150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-07-29	公开	公开
2011-02-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101066678782 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2009100712895 公开日:20090729
2009-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置 [P].

王超群 ;

黄强先 ;

伍婷婷 ;

张连生 .

中国专利 :CN106225667B ,2016-12-14

[2]

一种激光外差干涉仪解调系统 [P].

冯秀娟 ;

柯伟 ;

何龙标 ;

牛锋 ;

杨平 ;

秦朝琪 .

中国专利 :CN112526910A ,2021-03-19

[3]

双频激光干涉仪 [P].

程于水 ;

毛静超 ;

吴树福 .

中国专利 :CN215296151U ,2021-12-24

[4]

激光干涉仪系统 [P].

卢海燕 ;

占伟伟 ;

胡鹏程 ;

蔡莉 ;

王秀 .

中国专利 :CN205537501U ,2016-08-31

[5]

激光干涉仪系统 [P].

卢海燕 .

中国专利 :CN104316078B ,2015-01-28

[6]

光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪 [P].

段小艳 ;

张大治 ;

田森 .

中国专利 :CN114166113B ,2024-03-01

[7]

光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪 [P].

段小艳 ;

张大治 ;

田森 .

中国专利 :CN114166113A ,2022-03-11

[8]

形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528499B ,2014-01-22

[9]

形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499278B ,2014-01-08

[10]

外差干涉仪的激光方位调整装置 [P].

赵慧洁 ;

张广军 .

中国专利 :CN2589933Y ,2003-12-03

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