基板涂敷设备和所述基板涂敷设备的涂敷方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710196478.6
申请日
2007-12-05
公开(公告)号
CN101279310A
公开(公告)日
2008-10-08
发明(设计)人
荻野忠弘 土井敏也 泽田英之 田边雄二
申请人
申请人地址
日本国大阪府
IPC主分类号
B05C502
IPC分类号
B05C1102 B05D126
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司
代理人
王新华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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涂敷设备和涂敷方法 [P]. 
泽田郁夫 ;
松崎和爱 ;
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涂敷设备以及用于这种涂敷设备的涂敷装置 [P]. 
M·鲁斯托勒 ;
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改进的涂敷设备和涂敷方法 [P]. 
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罗尔夫·阿当 ;
汉斯·艾歇尔特 ;
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安敦·迪特里希 ;
冈德·迪特马 ;
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