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基于表面等离子体波的半导体缺陷检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210111269.8
申请日：
2012-04-17
公开(公告)号：
CN102636491B
公开(公告)日：
2012-08-15
发明(设计)人：
杨涛 何浩培 李兴鳌 周馨慧 黄维
申请人：
申请人地址：
210003 江苏省南京市新模范马路66号
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01B1130
代理机构：
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人：
许方
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2015-06-03 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715857051 IPC(主分类):G01N 21/88 专利号:ZL2012101112698 变更事项:专利权人 变更前权利人:南京方圆环球光电材料有限公司 变更后权利人:南京方圆环球显示技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:210000 江苏省南京市南京经济技术开发区恒飞路8号科创基地511室 变更后权利人:210000 江苏省南京市鼓楼区广东路38号 登记生效日:20150513
2012-08-15 公开 公开
2013-10-30 授权 授权
2012-10-03 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101332125578 IPC(主分类):G01N 21/88 专利申请号:2012101112698 申请日:20120417
2017-06-09 专利权的终止 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101725769139 IPC(主分类):G01N 21/88 专利号:ZL2012101112698 申请日:20120417 授权公告日:20131030 终止日期:20160417
2014-09-03 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101704806979 IPC(主分类):G01N 21/88 专利号:ZL2012101112698 变更事项:专利权人 变更前权利人:南京邮电大学 变更后权利人:南京方圆环球光电材料有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:210003 江苏省南京市新模范马路66号 变更后权利人:210000 江苏省南京市南京经济技术开发区恒飞路8号科创基地511室 登记生效日:20140811
共 50 条
[1]
基于表面等离子体波传输距离的电磁波调制方法 [P]. 
杨涛 ;
黄维 ;
李兴鳌 ;
凌安平 ;
何浩培 ;
周馨慧 .
中国专利 :CN102739165A ,2012-10-17
[2]
基于表面等离子体波传输距离的电磁波温度调制方法 [P]. 
黄维 ;
杨涛 ;
李兴鳌 ;
凌安平 ;
何浩培 ;
蔡祥宝 ;
周馨慧 .
中国专利 :CN102736273A ,2012-10-17
[3]
一种半导体等离子体频率测量方法 [P]. 
杨涛 ;
黄维 ;
蔡祥宝 ;
李兴鳌 ;
刘辉 ;
何浩培 ;
周馨慧 ;
王建云 .
中国专利 :CN102721670B ,2012-10-10
[4]
半导体薄膜等离子体滤波器的检测方法 [P]. 
沈文忠 ;
钱志刚 .
中国专利 :CN100347536C ,2003-03-26
[5]
太赫兹表面等离子体波温度控制开关及其控制方法 [P]. 
杨涛 ;
何浩培 ;
仪明东 ;
黄维 ;
李兴鳌 .
中国专利 :CN102176521B ,2011-09-07
[6]
远程等离子体辅助的半导体刻蚀表面清洁方法 [P]. 
潘小刚 ;
朱国俊 .
中国专利 :CN121096926A ,2025-12-09
[7]
表面波等离子体装置和半导体处理设备 [P]. 
赵晓丽 .
中国专利 :CN110797248A ,2020-02-14
[8]
用于半导体功能材料表面缺陷调控的等离子体反应装置 [P]. 
马相聪 ;
桑春晖 ;
伊创 ;
钱汉 .
中国专利 :CN217484249U ,2022-09-23
[9]
相移干涉表面等离子体波显微镜 [P]. 
郭继华 ;
郭峻 ;
王东生 ;
隋森芳 .
中国专利 :CN1342897A ,2002-04-03
[10]
基于人工表面等离子体的太赫兹波调制方法、器件及装置 [P]. 
杨涛 ;
蒋冰 ;
李兴鳌 ;
黄维 ;
何浩培 ;
周馨慧 .
中国专利 :CN104570406A ,2015-04-29
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