一种旋转式硅片清洗花篮

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520820086.2
申请日
2015-10-21
公开(公告)号
CN205159294U
公开(公告)日
2016-04-13
发明(设计)人
徐海涛
申请人
申请人地址
266400 山东省青岛市黄岛区珠山南路25号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种旋转式硅片清洗花篮 [P]. 
袁雅锋 ;
汤讯 ;
周士发 .
中国专利 :CN223308961U ,2025-09-05
[2]
一种硅片清洗用花篮 [P]. 
徐海涛 .
中国专利 :CN205146832U ,2016-04-13
[3]
一种旋转式硅片花篮输送装置 [P]. 
张志康 ;
吕强 ;
丁贵英 .
中国专利 :CN208086764U ,2018-11-13
[4]
用于清洗半导体晶片的旋转式花篮 [P]. 
史铎鹏 ;
任殿胜 .
中国专利 :CN215008169U ,2021-12-03
[5]
硅片清洗花篮 [P]. 
王克喜 .
中国专利 :CN207170467U ,2018-04-03
[6]
硅片清洗花篮 [P]. 
吴世钦 .
中国专利 :CN207533614U ,2018-06-26
[7]
硅片清洗花篮 [P]. 
王克喜 .
中国专利 :CN207021243U ,2018-02-16
[8]
硅片清洗花篮 [P]. 
宋文 .
中国专利 :CN218160313U ,2022-12-27
[9]
硅片清洗花篮 [P]. 
黎彬 .
中国专利 :CN210110727U ,2020-02-21
[10]
硅片清洗花篮 [P]. 
李品武 ;
林永圳 ;
潘军明 ;
张骏凯 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN223284942U ,2025-08-29