磷烷尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821137189.9

申请日：

2018-07-18

公开(公告)号：

CN208642290U

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

于青玉

申请人：

申请人地址：

201508 上海市金山区山阳镇山磊路188号6幢

IPC主分类号：

B01D5378

IPC分类号：

B01D5372

代理机构：

上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336

代理人：

牟俊玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磷烷尾气回收装置 [P].

陈国富 ;

龚施健 ;

胡超群 ;

林海宁 ;

罗龙 .

中国专利 :CN212855273U ,2021-04-02

[2]

一种磷烷制备用尾气处理装置 [P].

赵文军 .

中国专利 :CN113041813A ,2021-06-29

[3]

硅烷尾气处理装置 [P].

梁永强 .

中国专利 :CN208642138U ,2019-03-26

[4]

磷烷尾气处理系统 [P].

陈国富 ;

胡超群 ;

吴春弟 ;

林志民 .

中国专利 :CN205965430U ,2017-02-22

[5]

一种磷烷尾气处理装置及处理方法 [P].

朱颜 ;

王陆平 ;

施军民 ;

王仕华 ;

陶伟 .

中国专利 :CN108970379A ,2018-12-11

[6]

一种乙硼烷尾气处理装置 [P].

金向华 ;

齐相前 ;

许军州 ;

王新喜 ;

孙猛 ;

王亚亮 .

中国专利 :CN210905638U ,2020-07-03

[7]

一种用于吸附乙硼烷和磷烷的干式尾气处理装置 [P].

闫云 ;

张净普 ;

李旭 ;

王星帅 ;

王坤 ;

殷越玲 ;

姜世楠 .

中国专利 :CN217068269U ,2022-07-29

[8]

一种含磷烷、硅烷的尾气处理装置 [P].

史黎明 .

中国专利 :CN223417025U ,2025-10-10

[9]

磷烷尾气净化系统 [P].

马彬淇 ;

张豪东 .

中国专利 :CN210448705U ,2020-05-05

[10]

自清洗尾气处理装置 [P].

王大书 ;

张福祥 ;

韩晓强 ;

王晓 ;

贾二虎 ;

兰春亮 ;

赵明岗 ;

高旭彬 ;

范江鹏 ;

张迎伟 ;

申进杰 .

中国专利 :CN203925684U ,2014-11-05

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