硅烷尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821137414.9

申请日：

2018-07-18

公开(公告)号：

CN208642138U

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

梁永强

申请人：

申请人地址：

201508 上海市金山区山阳镇山磊路188号6幢

IPC主分类号：

B01D4706

IPC分类号：

代理机构：

上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336

代理人：

牟俊玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅烷尾气处理装置 [P].

沈剑男 ;

沙永华 .

中国专利 :CN214437714U ,2021-10-22

[2]

硅烷尾气处理装置 [P].

陈康超 ;

王毅 ;

张鹏波 .

中国专利 :CN222086036U ,2024-11-29

[3]

一种功能性硅烷尾气处理装置 [P].

李冲合 ;

周强龙 ;

王洪钢 ;

刘金磊 ;

洪璞 ;

王燕锋 .

中国专利 :CN223127628U ,2025-07-22

[4]

一种尾气处理装置及尾气处理系统 [P].

曾庆腾 .

中国专利 :CN211913317U ,2020-11-13

[5]

磷烷尾气处理装置 [P].

于青玉 .

中国专利 :CN208642290U ,2019-03-26

[6]

高纯乙硅烷尾气处理装置 [P].

徐昕 ;

俞冬雷 ;

王伟 .

中国专利 :CN213528099U ,2021-06-25

[7]

一种硅烷尾气处理装置 [P].

程锦钟 .

中国专利 :CN220424949U ,2024-02-02

[8]

尾气处理装置和尾气处理系统 [P].

杨瑜 ;

杨建军 ;

王锋 ;

陈至哲 ;

郭骏纬 ;

向淼 ;

王新宇 .

中国专利 :CN212348145U ,2021-01-15

[9]

一种尾气处理装置 [P].

李广义 ;

张连海 .

中国专利 :CN205340360U ,2016-06-29

[10]

沼气尾气处理装置 [P].

叶威宏 .

中国专利 :CN213467162U ,2021-06-18

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