硅烷尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323412252.9

申请日：

2023-12-14

公开(公告)号：

CN222086036U

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

陈康超王毅张鹏波

申请人：

芯联集成电路制造股份有限公司

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号

IPC主分类号：

F23G7/06

IPC分类号：

F23G5/44 F23J15/02

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑星

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

硅烷尾气处理装置 [P].

梁永强 .

中国专利 :CN208642138U ,2019-03-26

[2]

尾气处理装置 [P].

谢崇志 .

中国专利 :CN119303919A ,2025-01-14

[3]

高纯乙硅烷尾气处理装置 [P].

徐昕 ;

俞冬雷 ;

王伟 .

中国专利 :CN213528099U ,2021-06-25

[4]

一种硅烷尾气处理装置 [P].

沈剑男 ;

沙永华 .

中国专利 :CN214437714U ,2021-10-22

[5]

一种硅烷尾气处理装置 [P].

程锦钟 .

中国专利 :CN220424949U ,2024-02-02

[6]

防硅酸盐积聚的硅烷尾气淋洗塔及硅烷尾气处理装置 [P].

杨敦 ;

于秀峰 ;

乔长喜 ;

刘庆强 ;

徐海 ;

王传振 ;

张海蛟 ;

石强 ;

石霞 .

中国专利 :CN223055397U ,2025-07-04

[7]

硅烷尾气处理装置以及方法 [P].

吴啸 ;

冯金良 ;

梁浩 ;

范建超 .

中国专利 :CN103090399B ,2013-05-08

[8]

一种氯硅烷酯化尾气处理装置 [P].

梁秋鸿 ;

金先豪 ;

黄璨 ;

刘国华 ;

吴治江 ;

李浩业 .

中国专利 :CN221752878U ,2024-09-24

[9]

尾气处理装置 [P].

陈建升 ;

谢远祥 ;

闫士泉 ;

杨帅 .

中国专利 :CN114904355A ,2022-08-16

[10]

尾气处理装置 [P].

杨开沈 ;

黄国华 ;

甘飞章 ;

黄浩 ;

张锐 .

中国专利 :CN203264513U ,2013-11-06

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