尾气处理装置

被引：0

申请号：

CN202210610918.2

申请日：

2022-05-31

公开(公告)号：

CN114904355A

公开(公告)日：

2022-08-16

发明(设计)人：

陈建升谢远祥闫士泉杨帅

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D5326 B01D4600 B01D500 F23G706 F28B908

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/00 申请日:20220531
2022-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体工艺设备的尾气处理装置 [P].

闫晓腾 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN112539413A ,2021-03-23

[2]

硅烷尾气处理装置 [P].

陈康超 ;

王毅 ;

张鹏波 .

中国专利 :CN222086036U ,2024-11-29

[3]

尾气处理装置及尾气处理方法 [P].

刘建辉 ;

陈甫 ;

张颖 ;

沈镕 ;

王亚东 ;

王忠宝 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

刘祖宏 .

中国专利 :CN105597494A ,2016-05-25

[4]

尾气处理装置 [P].

文源成 .

中国专利 :CN207004609U ,2018-02-13

[5]

尾气处理装置 [P].

令永前 ;

鲜杨玲 ;

张宏伟 ;

杨建良 ;

郭建伟 .

中国专利 :CN215962850U ,2022-03-08

[6]

尾气处理装置 [P].

李欣泽 .

中国专利 :CN201997236U ,2011-10-05

[7]

尾气处理装置 [P].

杨开沈 ;

黄国华 ;

甘飞章 ;

黄浩 ;

张锐 .

中国专利 :CN203264513U ,2013-11-06

[8]

尾气处理装置 [P].

梁冬仪 ;

程利娟 ;

包素艳 ;

蔺少婷 ;

靳建永 ;

张震 ;

刘士召 ;

王伟 ;

邢艺馨 ;

师晓蒙 ;

王金威 ;

王慧雪 ;

蔡俊 .

中国专利 :CN217518731U ,2022-09-30

[9]

尾气处理装置 [P].

朱刘 ;

于金凤 ;

秦宏硕 .

中国专利 :CN206045742U ,2017-03-29

[10]

尾气处理装置 [P].

谷洪君 .

中国专利 :CN201997256U ,2011-10-05

← 1 2 3 4 5 →