材料气体控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110435861.9

申请日：

2011-12-22

公开(公告)号：

CN102541103A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

南雅和

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市南区上鸟羽鉾立町11番地5

IPC主分类号：

G05D1113

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

经志强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322516585 IPC(主分类):G05D 11/13 专利申请号:2011104358619 申请日:20111222
2012-07-04	公开	公开
2015-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

材料气体浓度控制系统 [P].

南雅和 ;

林大介 ;

坂口有平 ;

西村克美 ;

井上正规 ;

泷尻兴太郎 .

中国专利 :CN101724828B ,2010-06-09

[2]

材料气体浓度控制系统及材料气体浓度控制系统用程序 [P].

南雅和 ;

井上正规 .

中国专利 :CN102156489A ,2011-08-17

[3]

气体控制系统以及用于气体控制系统的控制方法 [P].

西里洋 ;

泷尻兴太郎 ;

南雅和 ;

寺岡温子 .

中国专利 :CN106996513A ,2017-08-01

[4]

材料气体控制装置、控制方法、控制程序及控制系统 [P].

林大介 .

中国专利 :CN102541101A ,2012-07-04

[5]

气体控制系统及气体控制方法 [P].

金崎俊彦 ;

荻原直贵 .

中国专利 :CN113375040A ,2021-09-10

[6]

放散气体控制系统 [P].

吴靖 .

中国专利 :CN202904393U ,2013-04-24

[7]

气体传输控制系统 [P].

刘江峰 ;

浦海 ;

张桂民 .

中国专利 :CN205383434U ,2016-07-13

[8]

气体传输控制系统 [P].

刘江峰 ;

浦海 ;

张桂民 .

中国专利 :CN105570686A ,2016-05-11

[9]

气体控制系统、成膜装置、存储介质和气体控制方法 [P].

坂口有平 ;

志水徹 ;

南雅和 ;

林大介 .

中国专利 :CN108570659A ,2018-09-25

[10]

气体控制系统、具备该气体控制系统的成膜装置、检测方法以及存储介质 [P].

西里洋 ;

南雅和 ;

坂口有平 .

中国专利 :CN109715851B ,2019-05-03

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