材料气体浓度控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910208803.5

申请日：

2009-10-29

公开(公告)号：

CN101724828B

公开(公告)日：

2010-06-09

发明(设计)人：

南雅和林大介坂口有平西村克美井上正规泷尻兴太郎

申请人：

申请人地址：

日本京都市南区吉祥院宫之东町2

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101128909782 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2009102088035 申请日:20091029
2013-06-12	授权	授权
2010-06-09	公开	公开

共 50 条

[1]

材料气体浓度控制系统及材料气体浓度控制系统用程序 [P].

南雅和 ;

井上正规 .

中国专利 :CN102156489A ,2011-08-17

[2]

材料气体浓度控制装置 [P].

南雅和 ;

井上正规 .

中国专利 :CN101760727A ,2010-06-30

[3]

气体浓度控制系统 [P].

王桂友 ;

罗永昌 ;

刘晓鹏 ;

吴建兵 .

中国专利 :CN203366146U ,2013-12-25

[4]

材料气体控制系统 [P].

南雅和 .

中国专利 :CN102541103A ,2012-07-04

[5]

一种气体浓度控制装置及气体浓度控制系统 [P].

董亮华 ;

耿彦红 ;

王瑞 ;

徐春 .

中国专利 :CN213182440U ,2021-05-11

[6]

材料气体控制装置、控制方法、控制程序及控制系统 [P].

林大介 .

中国专利 :CN102541101A ,2012-07-04

[7]

气体浓度控制装置 [P].

崔娟娟 ;

程朝阳 ;

刘俊豪 ;

马超 .

中国专利 :CN202705565U ,2013-01-30

[8]

一种气体浓度控制系统及控制方法 [P].

林莉峰 ;

彭鹏 ;

周娟娟 ;

刘斌 ;

刘启凯 ;

李梦琼 ;

应基光 ;

姜丽 ;

陈汝超 ;

张善伟 ;

郗家福 ;

曹晓哲 ;

张帅领 .

中国专利 :CN117861401A ,2024-04-12

[9]

培养腔的气体浓度控制系统以及方法 [P].

张冀聪 ;

王海波 .

中国专利 :CN113534862B ,2024-05-03

[10]

一种气体浓度控制系统及方法 [P].

杨小新 .

中国专利 :CN110327798A ,2019-10-15

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