一种槽式电化学沉积用药液添加装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120259417.5

申请日：

2021-01-29

公开(公告)号：

CN214271091U

公开(公告)日：

2021-09-24

发明(设计)人：

蒋新张军施利君陈书良

申请人：

申请人地址：

215500 江苏省苏州市常熟辛庄镇光华环路32号

IPC主分类号：

C25D1700

IPC分类号：

C25D2114

代理机构：

苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276

代理人：

朱华庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽 [P].

祁志明 ;

李松松 ;

孙永胜 ;

李程 .

中国专利 :CN214937907U ,2021-11-30

[2]

一种电化学沉积槽药量控制装置 [P].

张军 ;

施利君 ;

陈书良 .

中国专利 :CN214529311U ,2021-10-29

[3]

一种具有药液循环功能的电化学沉积槽 [P].

张军 ;

施利君 ;

陈书良 .

中国专利 :CN214400261U ,2021-10-15

[4]

一种光电化学沉积槽 [P].

杨佳 ;

曹成松 ;

张君 ;

王薇 ;

杨海艳 ;

侯堪文 ;

刘国豪 ;

徐宝强 ;

李绍元 ;

杨斌 ;

马文会 ;

熊恒 ;

蒋文龙 ;

李一夫 ;

田阳 ;

戴永年 .

中国专利 :CN214327949U ,2021-10-01

[5]

水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽搅拌机构 [P].

李松松 ;

孙永胜 ;

祁志明 ;

李程 .

中国专利 :CN215404599U ,2022-01-04

[6]

一种电化学沉积装置 [P].

张国才 ;

曹占锋 ;

闫俊伟 ;

麦轩伟 ;

王大军 ;

王宏 ;

董士豪 .

中国专利 :CN211689276U ,2020-10-16

[7]

一种电化学沉积装置 [P].

付丽 ;

林伊旻 ;

秦艾 .

中国专利 :CN214088721U ,2021-08-31

[8]

一种电化学沉积装置 [P].

谈浩琪 ;

梁宵 .

中国专利 :CN220887749U ,2024-05-03

[9]

用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置 [P].

汤洋 ;

白安琪 ;

郭逦达 .

中国专利 :CN206330932U ,2017-07-14

[10]

用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置 [P].

汤洋 ;

郭逦达 ;

白安琪 ;

陈颉 .

中国专利 :CN204570074U ,2015-08-19

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