一种薄膜应力量测方法及量测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310470964.8

申请日：

2013-10-10

公开(公告)号：

CN104568247A

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

刘冲彭思君杨飞

申请人：

申请人地址：

201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

代理机构：

上海唯源专利代理有限公司 31229

代理人：

曾耀先

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-21	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01L 1/24 变更事项:专利权人变更前:上海和辉光电有限公司变更后:上海和辉光电股份有限公司变更事项:地址变更前:201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室变更后:201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611400361 IPC(主分类):G01L 1/24 专利申请号:2013104709648 申请日:20131010
2017-05-17	授权	授权
2015-04-29	公开	公开

共 50 条

[1]

曲面块材残留应力量测装置及曲面块材残留应力量测方法 [P].

刘宗荣 ;

蔡修安 .

中国专利 :CN118225283A ,2024-06-21

[2]

硅片键合力量测装置及量测方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114252017A ,2022-03-29

[3]

量测装置及量测方法 [P].

赖允晋 ;

庄翌晨 ;

杨戴隆 ;

洪育民 .

中国专利 :CN104458209A ,2015-03-25

[4]

量测装置及量测方法 [P].

张民山 ;

徐兵 ;

李煜芝 ;

于亮 ;

王保亮 .

中国专利 :CN118242975A ,2024-06-25

[5]

量测装置及量测方法 [P].

吴景扬 ;

周宗震 ;

简昆峰 ;

高维笛 ;

王俊杰 .

中国专利 :CN117907284A ,2024-04-19

[6]

量测装置及量测方法 [P].

詹森雄 ;

江家谊 .

中国专利 :CN112986615A ,2021-06-18

[7]

量测装置及量测方法 [P].

孙正一 ;

陈昶升 ;

杨勇 ;

曹伟涛 ;

谢松臻 .

中国专利 :CN111805301B ,2020-10-23

[8]

量测装置及量测方法 [P].

李雷 ;

成智 ;

陈平 ;

杨继文 ;

董林森 ;

孙长发 .

中国专利 :CN101210795A ,2008-07-02

[9]

晶圆薄膜量测装置及量测系统 [P].

李贤铭 ;

陈国庆 .

中国专利 :CN209087771U ,2019-07-09

[10]

量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法 [P].

李想 .

中国专利 :CN115597510A ,2023-01-13

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