一种ZnO纳米阵列紫外探测器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310259647.1

申请日：

2013-06-26

公开(公告)号：

CN103441154B

公开(公告)日：

2013-12-11

发明(设计)人：

张跃衣芳廖庆亮黄运华闫小琴

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

H01L310224

IPC分类号：

H01L3118 H01L3109

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

皋吉甫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562124745 IPC(主分类):H01L 31/0224 专利申请号:2013102596471 申请日:20130626
2013-12-11	公开	公开
2015-08-12	授权	授权

共 50 条

[21]

红外探测器阵列及其制作方法 [P].

杨翠 ;

张延涛 ;

马京立 ;

陈园园 ;

陈晓冬 ;

孟超 ;

张小雷 ;

毛维 ;

吕衍秋 ;

司俊杰 .

中国专利 :CN104465686B ,2015-03-25

[22]

一种光电探测器及其制作方法 [P].

张文林 ;

孙建明 .

中国专利 :CN107342347A ,2017-11-10

[23]

阵列紫外探测器 [P].

庞倩桃 .

中国专利 :CN106784070A ,2017-05-31

[24]

平面GaN基紫外探测器及其制作方法 [P].

苏艳梅 ;

种明 ;

张冶金 ;

孙捷 ;

孙秀艳 .

中国专利 :CN110970525A ,2020-04-07

[25]

一种控制横向ZnO纳米线阵列紫外探测器均匀性的方法 [P].

高志远 ;

张洁 ;

薛晓玮 ;

赵立欢 ;

邹德恕 .

中国专利 :CN107123701A ,2017-09-01

[26]

一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法 [P].

薛晓玮 ;

李江江 ;

高志远 ;

邹德恕 ;

张洁 ;

赵立欢 .

中国专利 :CN106409975A ,2017-02-15

[27]

一种自驱动ZnO基紫外探测器及其制备方法 [P].

叶志镇 ;

戴文 ;

潘新花 ;

黄靖云 .

中国专利 :CN103915524A ,2014-07-09

[28]

一种高速高灵敏的ZnO纳米线阵列射频紫外探测器 [P].

高志远 ;

李洪达 .

中国专利 :CN113130683B ,2021-07-16

[29]

TFT及其制作方法、阵列基板及其制作方法、X射线探测器 [P].

高会朝 ;

田宗民 ;

李鹏 .

中国专利 :CN103474474A ,2013-12-25

[30]

一种氮化物紫外雪崩光电探测器及其制作方法 [P].

申志辉 ;

刘海军 ;

叶嗣荣 ;

刘奎余 ;

吴畯 ;

姚彬彬 ;

高猛 .

中国专利 :CN113451436A ,2021-09-28

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