一种四氯化硅提纯系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420288575.3

申请日：

2014-05-30

公开(公告)号：

CN204022481U

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

谭军方卫民刘国晶汪建阳范建平徐慧芬王德球闻涛

申请人：

申请人地址：

324102 浙江省衢州市江山经济开发区江电路19号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

杭州天勤知识产权代理有限公司 33224

代理人：

胡红娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种四氯化硅提纯工艺及系统 [P].

谭军 ;

方卫民 ;

刘国晶 ;

汪建阳 ;

范建平 ;

徐慧芬 ;

王德球 ;

闻涛 .

中国专利 :CN104030293A ,2014-09-10

[2]

四氯化硅提纯系统及四氯化硅提纯方法 [P].

张皓文 ;

沈一春 ;

顾小刚 .

中国专利 :CN119873831A ,2025-04-25

[3]

四氯化硅制备系统 [P].

徐俊雄 ;

易玉龙 ;

刘辉 .

中国专利 :CN213348235U ,2021-06-04

[4]

一种四氯化硅汽化提纯装置 [P].

吕海峰 ;

刘东强 ;

蒋峰 ;

田启祥 .

中国专利 :CN209522584U ,2019-10-22

[5]

四氯化硅提纯装置 [P].

张蕤 ;

蒋晓 ;

张承超 ;

李长亭 ;

蒋纪迎 ;

郭兆杰 ;

王彦灵 ;

李江河 ;

路文德 ;

徐昊 .

中国专利 :CN217437770U ,2022-09-16

[6]

一种四氯化硅提纯储罐 [P].

黄孝权 ;

王艳青 .

中国专利 :CN223721696U ,2025-12-26

[7]

一种四氯化硅提纯方法 [P].

裴艳红 ;

李强 ;

马国栋 ;

耿玉侠 .

中国专利 :CN102807222B ,2012-12-05

[8]

一种四氯化硅提纯储罐 [P].

任刚 ;

郭继文 ;

李帅帅 .

中国专利 :CN223162442U ,2025-07-29

[9]

一种高纯度四氯化硅提纯方法 [P].

殷万朋 ;

许超 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN103738966A ,2014-04-23

[10]

四氯化硅冷氢化系统 [P].

董丽萍 ;

张升学 ;

杨永亮 ;

石涛 ;

严大洲 .

中国专利 :CN212581530U ,2021-02-23

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