一种四氯化硅提纯工艺及系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410241853.4
申请日
2014-05-30
公开(公告)号
CN104030293A
公开(公告)日
2014-09-10
发明(设计)人
谭军 方卫民 刘国晶 汪建阳 范建平 徐慧芬 王德球 闻涛
申请人
申请人地址
324102 浙江省衢州市江山经济开发区江电路19号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224
代理人
胡红娟
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种四氯化硅提纯系统 [P]. 
谭军 ;
方卫民 ;
刘国晶 ;
汪建阳 ;
范建平 ;
徐慧芬 ;
王德球 ;
闻涛 .
中国专利 :CN204022481U ,2014-12-17
[2]
四氯化硅提纯系统及四氯化硅提纯方法 [P]. 
张皓文 ;
沈一春 ;
顾小刚 .
中国专利 :CN119873831A ,2025-04-25
[3]
一种四氯化硅提纯方法 [P]. 
裴艳红 ;
李强 ;
马国栋 ;
耿玉侠 .
中国专利 :CN102807222B ,2012-12-05
[4]
四氯化硅提纯装置 [P]. 
张蕤 ;
蒋晓 ;
张承超 ;
李长亭 ;
蒋纪迎 ;
郭兆杰 ;
王彦灵 ;
李江河 ;
路文德 ;
徐昊 .
中国专利 :CN217437770U ,2022-09-16
[5]
四氯化硅制备系统 [P]. 
徐俊雄 ;
易玉龙 ;
刘辉 .
中国专利 :CN213348235U ,2021-06-04
[6]
一种四氯化硅汽化提纯装置 [P]. 
吕海峰 ;
刘东强 ;
蒋峰 ;
田启祥 .
中国专利 :CN209522584U ,2019-10-22
[7]
一种四氯化硅提纯储罐 [P]. 
黄孝权 ;
王艳青 .
中国专利 :CN223721696U ,2025-12-26
[8]
一种四氯化硅提纯储罐 [P]. 
任刚 ;
郭继文 ;
李帅帅 .
中国专利 :CN223162442U ,2025-07-29
[9]
四氯化硅冷氢化系统和四氯化硅冷氢化方法 [P]. 
张升学 ;
董丽萍 ;
杨永亮 ;
万烨 ;
汤传斌 ;
石涛 ;
严大洲 .
中国专利 :CN115626648A ,2023-01-20
[10]
一种四氯化硅的制备方法 [P]. 
王体虎 ;
肖建忠 ;
宗冰 ;
曹玲玲 ;
王生红 ;
魏东亮 ;
许保红 .
中国专利 :CN106809840A ,2017-06-09