薄膜扩散阻挡层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910133345.7

申请日：

2013-12-30

公开(公告)号：

CN110053423A

公开(公告)日：

2019-07-26

发明(设计)人：

J·C·格伦兰 M·A·普廖洛 P·温斯顿 J·J·麦克休

申请人：

申请人地址：

法国克莱蒙-费朗

IPC主分类号：

B60C100

IPC分类号：

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟;唐瑞庭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B60C 1/00 申请日:20131230
2019-07-26	公开	公开
2021-06-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B60C 1/00 申请公布日:20190726

共 50 条

[1]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[2]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[3]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[4]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

[5]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[6]

合金扩散阻挡层 [P].

N·戴德文德 ;

S·F·帕沃内 ;

C·D·马纳克 .

中国专利 :CN111052362A ,2020-04-21

[7]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒理 .

中国专利 :CN1134920A ,1996-11-06

[8]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒里 .

中国专利 :CN1162575A ,1997-10-22

[9]

金属离子扩散阻挡层 [P].

M·洛博达 .

中国专利 :CN1524291A ,2004-08-25

[10]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

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