碱金属扩散阻挡层

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN95117219.0

申请日：

1995-10-04

公开(公告)号：

CN1134920A

公开(公告)日：

1996-11-06

发明(设计)人：

J·J·芬雷 F·H·吉勒理

申请人：

申请人地址：

美国宾夕法尼亚

IPC主分类号：

C03C1723

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

徐汝巽

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1996-11-06	公开	公开
1996-09-18	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-04-04	专利申请的视为撤回	专利申请的视为撤回

共 50 条

[1]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒里 .

中国专利 :CN1162575A ,1997-10-22

[2]

碱金属阻挡层 [P].

F·克拉博 .

中国专利 :CN103619774A ,2014-03-05

[3]

金属离子扩散阻挡层 [P].

M·洛博达 .

中国专利 :CN1524291A ,2004-08-25

[4]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[5]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[6]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[7]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[8]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[9]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

[10]

合金扩散阻挡层 [P].

N·戴德文德 ;

S·F·帕沃内 ;

C·D·马纳克 .

中国专利 :CN111052362A ,2020-04-21

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