用于贵金属的抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580025563.5

申请日：

2005-07-01

公开(公告)号：

CN1993437B

公开(公告)日：

2007-07-04

发明(设计)人：

弗朗西斯科·德雷格西索罗弗拉西克·布鲁西克克里斯托弗·汤普森本杰明·拜尔

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺伊州

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09K314 C23F306 H01L21321

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

宋莉;贾静环

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20050701 授权公告日:20130731 终止日期:20200701
2007-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-07-04	公开	公开
2013-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

用于抛光贵金属的具有聚合物添加剂的化学机械抛光组合物 [P].

弗朗西斯科·德雷吉西索罗 ;

本杰明·拜尔 .

中国专利 :CN101040021A ,2007-09-19

[2]

金属CMP用的抛光组合物 [P].

王淑敏 ;

史蒂文·K·格鲁比恩 ;

克里斯托弗·C·斯特赖恩兹 ;

埃里克·W·G·霍格伦 .

中国专利 :CN1436225A ,2003-08-13

[3]

包括磺酸的CMP组合物和用于抛光贵金属的方法 [P].

弗朗西斯科·德里格西索罗 ;

弗拉斯塔·布鲁西克 ;

本杰明·P·拜尔 .

中国专利 :CN1753961A ,2006-03-29

[4]

一种用于硅晶片抛光的抛光组合物 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

高峰 ;

雒建斌 ;

路新春 ;

刘岩 .

中国专利 :CN101451046A ,2009-06-10

[5]

用于镍-磷存储磁盘的抛光组合物 [P].

S.帕拉尼萨米奇纳萨姆比 ;

H.斯里瓦达恩 .

中国专利 :CN102361950B ,2012-02-22

[6]

用于镍-磷存储盘的抛光组合物 [P].

S.帕拉尼萨米钦娜萨姆比 ;

H.西里瓦达尼 .

中国专利 :CN102804345A ,2012-11-28

[7]

用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P].

彭路希 ;

田露 ;

贾仁合 .

中国专利 :CN117511414A ,2024-02-06

[8]

用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P].

彭路希 ;

田露 ;

贾仁合 .

中国专利 :CN117511413A ,2024-02-06

[9]

用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P].

彭路希 ;

田露 ;

贾仁合 .

中国专利 :CN119816571A ,2025-04-11

[10]

用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法 [P].

彭路希 ;

田露 ;

贾仁合 .

中国专利 :CN119731282A ,2025-03-28

← 1 2 3 4 5 →