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用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202380059717.0
申请日
:
2023-12-06
公开(公告)号
:
CN119731282A
公开(公告)日
:
2025-03-28
发明(设计)人
:
彭路希
田露
贾仁合
申请人
:
昂士特科技(深圳)有限公司
申请人地址
:
518000 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201
IPC主分类号
:
C09G1/02
IPC分类号
:
代理机构
:
广东普润知识产权代理有限公司 44804
代理人
:
寇闯
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-15
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20231206
2025-03-28
公开
公开
共 50 条
[1]
用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法
[P].
彭路希
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
彭路希
;
田露
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
田露
;
贾仁合
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机构:
昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
贾仁合
.
中国专利
:CN117511413A
,2024-02-06
[2]
用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法
[P].
彭路希
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
彭路希
;
田露
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昂士特科技(深圳)有限公司
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田露
;
贾仁合
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
贾仁合
.
中国专利
:CN117511414A
,2024-02-06
[3]
用于金属合金的化学机械抛光组合物及其抛光方法
[P].
彭路希
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
彭路希
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田露
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昂士特科技(深圳)有限公司
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田露
;
贾仁合
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
贾仁合
.
中国专利
:CN119816571A
,2025-04-11
[4]
化学机械抛光组合物及其抛光方法
[P].
彭路希
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
彭路希
;
田露
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昂士特科技(深圳)有限公司
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田露
;
贾仁合
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昂士特科技(深圳)有限公司
昂士特科技(深圳)有限公司
贾仁合
.
中国专利
:CN117511415A
,2024-02-06
[5]
化学机械抛光组合物及其在钨化学机械抛光中的应用
[P].
王永东
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
王永东
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卞鹏程
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
卞鹏程
;
王瑞芹
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
王瑞芹
;
徐贺
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
徐贺
;
李国庆
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
李国庆
;
王庆伟
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
王庆伟
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朱林君
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
朱林君
.
中国专利
:CN118406439A
,2024-07-30
[6]
化学机械抛光组合物及其在钨化学机械抛光中的应用
[P].
王永东
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
王永东
;
卞鹏程
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万华化学集团电子材料有限公司
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卞鹏程
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王瑞芹
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
王瑞芹
;
徐贺
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
徐贺
;
李国庆
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万华化学集团电子材料有限公司
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李国庆
;
王庆伟
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万华化学集团电子材料有限公司
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王庆伟
;
朱林君
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万华化学集团电子材料有限公司
万华化学集团电子材料有限公司
朱林君
.
中国专利
:CN118406439B
,2024-10-18
[7]
用于钨的化学机械抛光的组合物及其制备方法和化学机械抛光的方法
[P].
张伟明
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上海盛剑微电子有限公司
上海盛剑微电子有限公司
张伟明
;
章学春
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上海盛剑微电子有限公司
上海盛剑微电子有限公司
章学春
;
曾正午
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上海盛剑微电子有限公司
上海盛剑微电子有限公司
曾正午
;
李俏
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机构:
上海盛剑微电子有限公司
上海盛剑微电子有限公司
李俏
.
中国专利
:CN120349734A
,2025-07-22
[8]
化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用
[P].
方炳程
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华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
方炳程
;
金军
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华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
金军
;
仝开宇
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华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
仝开宇
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陈佳蕊
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机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
陈佳蕊
.
中国专利
:CN119144288A
,2024-12-17
[9]
化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用
[P].
方炳程
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机构:
华海清科股份有限公司
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方炳程
;
金军
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机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
金军
;
仝开宇
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机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
仝开宇
;
陈佳蕊
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机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
陈佳蕊
.
中国专利
:CN119144288B
,2025-03-14
[10]
用于化学机械抛光的浆料组合物及抛光方法
[P].
李泰永
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李泰永
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李仁庆
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李仁庆
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崔炳镐
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崔炳镐
;
朴容淳
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朴容淳
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中国专利
:CN101333420A
,2008-12-31
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