用于钨的化学机械抛光的组合物及其制备方法和化学机械抛光的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510504924.3

申请日：

2025-04-21

公开(公告)号：

CN120349734A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

张伟明章学春曾正午李俏

申请人：

上海盛剑微电子有限公司

申请人地址：

201400 上海市奉贤区舜工路38号24幢

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/321

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

杨勋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20250421
2025-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用 [P].

方炳程 ;

金军 ;

仝开宇 ;

陈佳蕊 .

中国专利 :CN119144288A ,2024-12-17

[2]

化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的应用 [P].

方炳程 ;

金军 ;

仝开宇 ;

陈佳蕊 .

中国专利 :CN119144288B ,2025-03-14

[3]

钨的化学机械抛光方法 [P].

何蔺蓁 ;

蔡薇雯 ;

李振彬 .

中国专利 :CN108372459B ,2018-08-07

[4]

钨的化学机械抛光方法 [P].

J·Ｄ·彭 ;

何蔺蓁 ;

S·苏 .

中国专利 :CN109382756B ,2019-02-26

[5]

用于化学机械抛光的浆料和化学机械抛光方法 [P].

加藤充 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN104471684A ,2015-03-25

[6]

钨化学机械抛光组合物 [P].

史晓波 ;

路春 ;

M·L·奥尼尔 .

中国专利 :CN110616044B ,2019-12-27

[7]

化学机械抛光的方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN104723208A ,2015-06-24

[8]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[9]

用于钨的化学机械抛光方法 [P].

何蔺蓁 ;

蔡薇雯 .

中国专利 :CN110450044A ,2019-11-15

[10]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106103638B ,2016-11-09

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