化学机械抛光的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310716928.5

申请日：

2013-12-20

公开(公告)号：

CN104723208A

公开(公告)日：

2015-06-24

发明(设计)人：

蒋莉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;付伟佳

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 37/00 申请公布日:20150624
2015-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101617854734 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2013107169285 申请日:20131220

共 50 条

[1]

化学机械抛光方法 [P].

朱宏亮 ;

王爱兵 .

中国专利 :CN105513961A ,2016-04-20

[2]

化学机械抛光的方法 [P].

蒋莉 ;

程继 ;

熊世伟 .

中国专利 :CN104716035A ,2015-06-17

[3]

化学机械抛光垫和化学机械抛光方法 [P].

西村秀树 ;

清水崇文 ;

栗山敬祐 ;

辻昭卫 .

中国专利 :CN1990183A ,2007-07-04

[4]

化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法 [P].

志保浩司 ;

保坂幸生 ;

长谷川亨 ;

川桥信夫 .

中国专利 :CN100352605C ,2005-03-09

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[6]

化学机械抛光衬垫和化学机械抛光方法 [P].

田野裕之 ;

西村秀树 ;

志保浩司 .

中国专利 :CN1757483A ,2006-04-12

[7]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[9]

化学机械抛光垫 [P].

B·钱 ;

F·叶 ;

T-C·王 ;

S-H·曾 ;

K·W-H·佟 ;

M·W·德格鲁特 .

中国专利 :CN108687654A ,2018-10-23

[10]

化学机械抛光装置 [P].

张海龙 ;

靳爱军 ;

王红艳 .

中国专利 :CN204277741U ,2015-04-22

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