化学机械抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420630427.5

申请日：

2014-10-29

公开(公告)号：

CN204277741U

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

张海龙靳爱军王红艳

申请人：

申请人地址：

455000 河南省安阳市龙安区马投涧乡上毛仪涧村

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	授权	授权
2020-10-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20141029 授权公告日:20150422 终止日期:20191029

共 50 条

[1]

化学机械抛光垫 [P].

张海龙 ;

张海民 ;

王用堂 .

中国专利 :CN204277742U ,2015-04-22

[2]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[3]

化学机械抛光装置 [P].

任桦爀 ;

金旻成 ;

董慜攝 ;

金钟千 .

中国专利 :CN205021393U ,2016-02-10

[4]

新型化学机械抛光装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201824235U ,2011-05-11

[5]

化学机械抛光装置 [P].

金钟千 ;

赵玟技 .

中国专利 :CN205380555U ,2016-07-13

[6]

化学机械抛光装置 [P].

施玉隆 ;

阮洪涛 ;

陶佳旺 ;

张元章 ;

张雷 ;

周松 .

中国专利 :CN223700463U ,2025-12-23

[7]

化学机械抛光垫及化学机械抛光方法 [P].

志保浩司 ;

田野裕之 ;

保坂幸生 ;

西村秀树 .

中国专利 :CN1864929A ,2006-11-22

[8]

化学机械抛光装置 [P].

赵玟技 ;

孙准皓 .

中国专利 :CN204819116U ,2015-12-02

[9]

化学机械抛光装置 [P].

陈振锟 .

中国专利 :CN222511682U ,2025-02-21

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

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