新型化学机械抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020510119.0

申请日：

2010-08-30

公开(公告)号：

CN201824235U

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

路新春梅赫赓何永勇雒建斌

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

张文宝

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-22	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20100830 授权公告日:20110511
2011-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型化学机械抛光装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101972978B ,2011-02-16

[2]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[3]

化学机械抛光装置 [P].

张海龙 ;

靳爱军 ;

王红艳 .

中国专利 :CN204277741U ,2015-04-22

[4]

化学机械抛光装置 [P].

赵玟技 ;

孙准皓 .

中国专利 :CN204819116U ,2015-12-02

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[6]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[7]

化学机械抛光垫及化学机械抛光方法 [P].

刘宇宏 ;

韩桂全 ;

雒建斌 ;

郭丹 ;

路新春 .

中国专利 :CN102601727A ,2012-07-25

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[9]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[10]

化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P].

铃木三惠子 ;

土屋泰章 .

中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01

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