一种新型化学机械抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010266634.3

申请日：

2010-08-30

公开(公告)号：

CN101972978B

公开(公告)日：

2011-02-16

发明(设计)人：

路新春梅赫赓何永勇雒建斌

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B3720 H01L21304

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

张文宝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-16	授权	授权
2019-07-09	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B24B 37/00 登记生效日:20190620 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:天津华海清科机电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市100084-82信箱变更后权利人:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼
2011-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101061117101 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2010102666343 申请日:20100830
2020-06-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 37/00 变更事项:专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司变更事项:地址变更前:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更后:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼
2011-02-16	公开	公开

共 50 条

[1]

新型化学机械抛光装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201824235U ,2011-05-11

[2]

一种化学机械抛光设备 [P].

穆国华 ;

付志豪 ;

王士瑞 ;

徐萍 ;

肖娜 .

中国专利 :CN106985062A ,2017-07-28

[3]

一种化学机械抛光装置及化学机械抛光设备 [P].

刘永进 .

中国专利 :CN117564929A ,2024-02-20

[4]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[6]

化学机械抛光垫及化学机械抛光方法 [P].

刘宇宏 ;

韩桂全 ;

雒建斌 ;

郭丹 ;

路新春 .

中国专利 :CN102601727A ,2012-07-25

[7]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[9]

化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P].

铃木三惠子 ;

土屋泰章 .

中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01

[10]

用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

慈慧 ;

梁清波 ;

徐海洋 ;

谭锐 .

中国专利 :CN117718876B ,2024-06-18

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