一种化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710150646.1

申请日：

2017-03-14

公开(公告)号：

CN106985062A

公开(公告)日：

2017-07-28

发明(设计)人：

穆国华付志豪王士瑞徐萍肖娜

申请人：

申请人地址：

450063 河南省郑州市二七区连云路123号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B5702

代理机构：

青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236

代理人：

庞庆芳

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B 37/34 申请公布日:20170728
2017-08-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101743209888 IPC(主分类):B24B 37/34 专利申请号:2017101506461 申请日:20170314
2017-07-28	公开	公开

共 50 条

[1]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[2]

用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

慈慧 ;

梁清波 ;

徐海洋 ;

谭锐 .

中国专利 :CN117718876B ,2024-06-18

[3]

用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

慈慧 ;

梁清波 ;

徐海洋 ;

谭锐 .

中国专利 :CN117718876A ,2024-03-19

[4]

化学机械抛光设备和化学机械抛光方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN108115553A ,2018-06-05

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[6]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[7]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[8]

化学机械抛光设备 [P].

裴城焄 .

中国专利 :CN101238552A ,2008-08-06

[9]

一种化学机械抛光设备 [P].

梁同帅 ;

尹影 ;

司马超 ;

李婷 ;

庞浩 ;

边润立 ;

于然 .

中国专利 :CN117444837A ,2024-01-26

[10]

一种化学机械抛光装置及化学机械抛光设备 [P].

刘永进 .

中国专利 :CN117564929A ,2024-02-20

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