一种化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311672084.9

申请日：

2023-12-07

公开(公告)号：

CN117444837A

公开(公告)日：

2024-01-26

发明(设计)人：

梁同帅尹影司马超李婷庞浩边润立于然

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B37/20

IPC分类号：

B24B37/34 B24B57/02 B24B57/00

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

刘心宇

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-26	公开	公开
2024-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/20申请日:20231207

共 50 条

[1]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[2]

化学机械抛光设备和化学机械抛光方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN108115553A ,2018-06-05

[3]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[4]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[5]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

[6]

化学机械抛光设备 [P].

裴城焄 .

中国专利 :CN101238552A ,2008-08-06

[7]

一种化学机械抛光设备 [P].

穆国华 ;

付志豪 ;

王士瑞 ;

徐萍 ;

肖娜 .

中国专利 :CN106985062A ,2017-07-28

[8]

用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

慈慧 ;

梁清波 ;

徐海洋 ;

谭锐 .

中国专利 :CN117718876B ,2024-06-18

[9]

用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

慈慧 ;

梁清波 ;

徐海洋 ;

谭锐 .

中国专利 :CN117718876A ,2024-03-19

[10]

化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P].

邵群 ;

王庆玲 .

中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10

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