化学机械抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420482895.6

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

CN222511682U

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

陈振锟

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/005 B24B49/16

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

朱笑宇

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[2]

用于化学机械抛光的晶圆承载装置和化学机械抛光设备 [P].

王春龙 ;

许振杰 .

中国专利 :CN213828498U ,2021-07-30

[3]

化学机械抛光设备 [P].

裴城焄 .

中国专利 :CN101238552A ,2008-08-06

[4]

化学机械抛光装置 [P].

金钟千 ;

赵玟技 .

中国专利 :CN205380555U ,2016-07-13

[5]

化学机械抛光装置 [P].

张海龙 ;

靳爱军 ;

王红艳 .

中国专利 :CN204277741U ,2015-04-22

[6]

化学机械抛光装置 [P].

金钟千 ;

任桦爀 ;

金旻成 ;

赵玟技 .

中国专利 :CN106625201A ,2017-05-10

[7]

化学机械抛光装置 [P].

任桦爀 ;

金旻成 ;

董慜攝 ;

金钟千 .

中国专利 :CN205021393U ,2016-02-10

[8]

化学机械抛光装置 [P].

施玉隆 ;

阮洪涛 ;

陶佳旺 ;

张元章 ;

张雷 ;

周松 .

中国专利 :CN223700463U ,2025-12-23

[9]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 .

中国专利 :CN205166654U ,2016-04-20

[10]

化学机械抛光装置 [P].

赵玟技 ;

孙准皓 .

中国专利 :CN204819116U ,2015-12-02

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