共 50 条
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去除阻挡层的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010519561.8
申请日：
2020-06-09
公开(公告)号：
CN113782430A
公开(公告)日：
2021-12-10
发明(设计)人：
王晖
张洪伟
代迎伟
金一诺
王坚
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
IPC主分类号：
H01L21311
IPC分类号：
H01L21768
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
陆嘉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-10 | 公开 | 公开 |