化学机械抛光液及其使用方法

被引：0

申请号：

CN202011626136.5

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN114686116A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

姚颖荆建芬倪宇飞周文婷宋凯蔡鑫元周靖宇李昀陆弘毅魏佳

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液及其使用方法 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

李昀 ;

倪宇飞 ;

周文婷 ;

蔡鑫元 ;

刘天奇 ;

许芃亮 ;

郑闪闪 .

中国专利 :CN114686112A ,2022-07-01

[2]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

汪国豪 ;

宋凯 ;

周文婷 .

中国专利 :CN111378376A ,2020-07-07

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

倪宇飞 ;

姚颖 ;

荆建芬 ;

黄悦锐 ;

马健 ;

杨俊雅 ;

蔡鑫元 ;

汪国豪 ;

陆弘毅 .

中国专利 :CN113122145A ,2021-07-16

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

卞鹏程 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

李恒 ;

黄悦锐 ;

马健 .

中国专利 :CN111378381A ,2020-07-07

[5]

一种化学机械抛光液及其使用方法 [P].

倪宇飞 ;

姚颖 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

周靖宇 ;

杨俊雅 ;

陆弘毅 ;

王苗苗 ;

王正 .

中国专利 :CN114686114A ,2022-07-01

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN101684392B ,2010-03-31

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

荆建芬 ;

李恒 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

马健 .

中国专利 :CN109971355A ,2019-07-05

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

黄悦锐 ;

姚颖 ;

荆建芬 ;

倪宇飞 ;

马健 ;

杨俊雅 ;

汪国豪 ;

李恒 ;

陆弘毅 .

中国专利 :CN113122144A ,2021-07-16

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[10]

一种化学机械抛光液及其使用方法 [P].

尹先升 ;

房庆华 ;

周仁杰 ;

王雨春 .

中国专利 :CN104726028A ,2015-06-24

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