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互补金属氧化物-半导体和MEMS传感器的异质集成
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080027511.6
申请日：
2020-04-01
公开(公告)号：
CN113767063A
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
洪婉嘉
彼得·科普尼奇
伊凯·安德·奥贾克
申请人：
申请人地址：
新加坡新加坡创业道2号愿景交流大厦11-08号
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
代理机构：
深圳市德锦知识产权代理有限公司 44352
代理人：
陈永晔
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20200401 |