一种具有凹面的靶材背板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110293451.9

申请日：

2021-03-18

公开(公告)号：

CN113106362B

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

黄宇彬童培云朱刘

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C22F102

IPC分类号：

C22F108 C22F104 C22F118 C23C1434 B21J502

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;黄华莲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-13	公开	公开
2021-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C22F 1/02 申请日:20210318
2022-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

靶材与背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 ;

周友平 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101648320A ,2010-02-17

[2]

靶材与背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

王学泽 ;

陈勇军 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101543937A ,2009-09-30

[3]

靶材与背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈勇军 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101543924A ,2009-09-30

[4]

铜背板与靶材的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN102489865A ,2012-06-13

[5]

一种靶材和背板的真空扩散接合方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

广田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN112643188B ,2021-04-13

[6]

靶材基板制造方法 [P].

陈庆丰 ;

陈敬尧 .

中国专利 :CN105239044A ,2016-01-13

[7]

一种靶材和背板的扩散接合装置 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

广田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN214185710U ,2021-09-14

[8]

一种大型平面靶材和背板的粘接方法 [P].

王广欣 ;

钟小亮 ;

豆帆 .

中国专利 :CN102699519A ,2012-10-03

[9]

锂靶材组件的制造方法 [P].

齐大志 ;

刘慧芳 ;

程滋平 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

杨诚 ;

吴春敢 .

中国专利 :CN111411330B ,2020-07-14

[10]

一种钼钛合金靶材的制造方法 [P].

陈占洋 ;

徐信森 ;

陈兴友 .

中国专利 :CN111304607A ,2020-06-19

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