靶材基板制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510361931.9

申请日：

2015-06-26

公开(公告)号：

CN105239044A

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

陈庆丰陈敬尧

申请人：

申请人地址：

中国台湾基隆巿

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

史瞳;谢琼慧

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20160113
2016-01-13	公开	公开

共 50 条

[1]

锂靶材组件的制造方法 [P].

齐大志 ;

刘慧芳 ;

程滋平 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

杨诚 ;

吴春敢 .

中国专利 :CN111411330B ,2020-07-14

[2]

稀土金属靶材的制造方法 [P].

刘树峰 ;

李慧 ;

鲁飞 ;

李静雅 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

王峰 ;

白洋 ;

成宇 ;

温永清 .

中国专利 :CN107904561A ,2018-04-13

[3]

稀土金属旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

娄树普 ;

温永清 ;

王誉 .

中国专利 :CN107799253A ,2018-03-13

[4]

平面锂靶材组件的制造方法和设备 [P].

齐大志 ;

程滋平 ;

杨诚 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

吴春敢 ;

刘慧芳 ;

代春雨 .

中国专利 :CN111411329A ,2020-07-14

[5]

旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置 [P].

陈宝忠 ;

徐国军 ;

万捷 ;

张蛟 .

中国专利 :CN111778486A ,2020-10-16

[6]

制造平面锂靶材组件的设备 [P].

齐大志 ;

程滋平 ;

杨诚 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

吴春敢 ;

刘慧芳 ;

代春雨 .

中国专利 :CN209906873U ,2020-01-07

[7]

铜背板与靶材的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN102489865A ,2012-06-13

[8]

靶材的制作方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周友平 .

中国专利 :CN103447535B ,2013-12-18

[9]

靶材组件的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101745710A ,2010-06-23

[10]

靶材组件的焊接方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李超 .

中国专利 :CN104741776B ,2015-07-01

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