用于确定衬底上目标结构的位置的方法和设备、用于确定衬底的位置的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780036588.8

申请日：

2017-06-01

公开(公告)号：

CN109313405A

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

F·G·C·比杰南 A·H·M·博舒沃斯 J·奥努勒

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20170601
2019-02-05	公开	公开
2021-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法 [P].

N·潘迪 ;

D·阿克布卢特 ;

亚历山德罗·波洛 ;

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 .

中国专利 :CN111656183A ,2020-09-11

[2]

用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法 [P].

N·潘迪 ;

D·阿克布卢特 ;

亚历山德罗·波洛 ;

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 .

:CN111656183B ,2024-01-19

[3]

用于确定磁体位置的设备、方法和系统 [P].

J·范奥尔斯特 ;

J·德戈伊斯 ;

N·恰尔内茨基 .

:CN115876065B ,2025-10-10

[4]

用于确定位置的方法和设备 [P].

云特·汉斯 ;

海因茨·利普纳 .

中国专利 :CN101196409B ,2008-06-11

[5]

用于确定车辆的位置的方法、设备和系统 [P].

M.比尔德施泰因 ;

B.埃克特 .

中国专利 :CN105579276A ,2016-05-11

[6]

用于确定位置和方位的方法和设备 [P].

佐藤清秀 ;

内山晋二 .

中国专利 :CN100408969C ,2006-11-22

[7]

用于确定感应位置传感器的角位置的设备和方法 [P].

E·萨克瑟 .

:CN116294963B ,2025-10-28

[8]

用于位置确定的方法和系统 [P].

弗兰克·范迪戈伦 .

中国专利 :CN109564292A ,2019-04-02

[9]

用于确定目标的位置的方法和装置、设备、车辆和介质 [P].

严官林 ;

凌立 ;

吴晔 ;

何宏良 ;

常好华 ;

唐亚哲 .

德国专利 :CN120232418A ,2025-07-01

[10]

用于位置确定的方法和系统 [P].

G·谢克特 ;

D·A·斯坦顿 .

中国专利 :CN102458243A ,2012-05-16

← 1 2 3 4 5 →